辽宁省新能源光电材料制备与分析工程研究中心，依托于沈阳工程学院建设，2013年获批，实验室科研人员9人，根据新能源光电材料制备与分析发展的前沿方向，围绕半导体光电材料研发和新能源材料制备的重大关键技术需求，形成了ZnO基透明导电薄膜的研制、超级电容器电极材料的研制、氮化物半导体芯片研制与薄膜太阳能电池的研制四个主要研究方向。这些研究方向既突出了辽宁省的新材料及其先进制备技术特点、制造资源优势以及技术与资源有机结合的特色，也涵盖了面向新材料的先进制造基地的建设研究体系。实验室占地800平方米，分为新能源光电材料制备与分析检测两个部分，分别开展新材料制备技术的研发与分析检测工作，为辽宁省新材料研究中心基地建设提供支撑。

工程研究中心获2020年辽宁省科技进步奖二等奖1项，获得了20项国家授权发明专利、欧洲发明专利2项，在相关领域国际权威期刊发表论文30余篇。

实验室承担纵向科研项目20余项，其中，国家科技部中欧中小企业节能减排项目1项。构建了新能源光电材料合成与制备平台、薄膜太阳能电池研发平台和半导体芯片材料研制平台，用于开展新材料的合成与制备、新能源光电功能晶体的制备、半导体光电材料的制备等相关研究，为新能源光电材料等先进材料的制备研究提供了良好的实验条件。

图1-4为新能源光电材料制备技术实验平台

图1.磁控溅射系统

图2.多室PECVD系统

图3.电子束蒸发系统

图4.双室磁控溅射系统